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正硅酸乙酯
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硅酸乙酯(TEOS)是一種無(wú)色液體，主要用作防熱涂料、耐化學(xué)作用的涂料、硅烷偶聯(lián)劑、有機(jī)合成中間體以及半導(dǎo)體領(lǐng)域中Chemicalbook化學(xué)氣相沉積(CVD)SiO2薄膜的前驅(qū)體等。硅酸乙酯的熔點(diǎn)為-77℃，沸點(diǎn)165.5℃，微溶于水，溶于乙醇和乙醚。 |
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